聯系我們   Contact
搜索   Search

H94-37型(LED)6″雙面光刻機

更新:2017-1-9 16:07:16      點擊:
  • 品牌:   SVC
  • 型號:   H94-37型(LED)
  • 市場價:    元
  • 優惠價:    元 (已有 0 人購買)
  • 在線訂購   加入收藏
產品介紹

  


主要用途 
      主要用于集成電路、半導體元器件、光電子器件、光學器件研制和
生產。由于本機找平機構先進,找平力小,使本機不僅適合硅片、玻璃片、陶瓷片的曝光,而且也適合易碎片如砷化鉀、磷化銦等基片的曝光。


工作方式

      本機采用雙面對準單面曝光方式。既可以對基片的正面進行對準曝光,又可對基片的反面相對于正面對準曝光。

主要構成
      主要由高精度對準工作臺、雙目分離視場立式顯微鏡、雙目分離視場臥式顯微鏡、數字式攝像頭、計算機成象記憶系統、多點光源(蠅眼)曝光頭、PLC控制系統、氣動系統、真空系統、直聯式真空泵、二級防震工作臺和附件箱等組成。

 


主要功能特點

1.曝光類型:正反面對準單面曝光;

2.曝光面積:160×160mm;★

3.曝光照度不均勻性:≤3%;★

4.曝光強度:≥30mw/cm2可調;★

5.紫外光束角:≤3˚;★

6.紫外光中心波長:365nm、404nm、435nm可選:

7.紫外光源壽命:≥2萬小時;

8.曝光分辨率:1μm;

9.曝光模式:可選擇一次曝光或套刻曝光;

10.顯微鏡掃描范圍:X:±40mm   Y:±30mm;★

11.對準范圍:X、Y粗調±3mm,細調±0.3mm;Q粗調±15°,細調±3°;★

12.套刻精度:1μm;★

13.分離量;0~50μm可調;★

14.接觸-分離漂移:≤1μm;★

15.曝光方式:密著曝光,可實現硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光;

16.找平方式:三點式自動找平;★

17.顯微系統:

1)正面對準采用雙視場CCD立式顯微鏡,總放大倍數45X~300X(物鏡放大倍數1.1X~7.5X連續變倍),雙物鏡可調距離11mm~100mm。掃描范圍:X±40mm ,Y±35mm; 

2)反面對準采用雙視場CCD臥式顯微鏡:總放大倍數60X、120X兩種(物鏡放大倍數2X、4X兩種),雙物鏡可調距離22mm~70mm

3)兩種顯微鏡共用一套計算機圖像處理系統;

18.掩模版尺寸:3″×3″、4″×4″、5″×5″、6″×6″、7″×7″;★

19.基片尺寸:φ2、φ3、φ4、φ5、φ6;★

20.基片厚度:≤5 mm;

21.曝光定時:0~999.9秒可調;

22.對準方式:切斯曼對準機構。★

23.曝光頭轉位:氣動;

24. 電源:單相AC220V  50HZ ,功耗≤1KW

25.潔凈空氣壓力:≥0.4MPa

26.真空度:-0.07MPa~-0.09MPa

27.尺寸: 920mm(長)×680mm(寬)×1600mm(高);

28.重量:約180Kg



 


更多產品
五大联赛下注 beteway必威体育| betway| betway首页| betway88| Betway88必威| betway必威| betway必威登录入口| betway必威登录网址| Betway必威体育| betway必威体育官网| betway必威体育手机版| betway必威体育网址登录| betway必威官网| betway必威中文版| betway必威手机版| betway必威入口| betway必威网址登录| betway必威网站| betway必威备用网| Betway必威电竞| betway体育| betway体育官网| betway体育首页| betway体育网址| betway官网| betway注册| betway中文版| betway首页| betway欧洲杯官方推荐| betway网址| betway网址登录| betway亚洲| 必威| 必威88| 必威88Betway体育| 必威app下载| 必威betway体育吧| 必威betway体育中文版| 必威betway中文版| 必威betway网页| 必威吧| 必威登录| 必威登录平台| 必威登录官网| 必威登录官网下载| 必威登录首页| 必威登录首页官网| 必威登录入口| 必威体育| 必威体育app| 必威体育app精装版| 必威体育app精装版下载| 必威体育betway888| 必威体育平台| 必威体育平台网址| 必威体育官网| 必威体育官网app| 必威体育官网首页| 必威体育下载| 必威体育下载平台| 必威体育下载入口| 必威体育入口| 必威体育网址登录| 必威体育竞彩app| 必威官网| 必威官网体育| 必威官网注册账号| 必威棋牌下载| 必威西汉姆网页版| 必威西汉姆联| 必威西汉姆联官网| 必威下载首页| 必威这个网站怎么样| 必威注册| 必威注册app下载| 必威注册平台| 必威注册官网| 必威注册入口| 必威手机版| 必威入口| 必威最新网址| 必威网址| 必威网址备用| 必威备用网| 必威备用网址| 必威电竞| 必威电竞app| 必威竞技| <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链>